中安在线、中安新闻客户端讯 想足不出皖遍尝全国美食,逛合肥农交会肯定是首选。10月13日至15日,安徽最具人气的展会——中国安徽名优农产品暨农业产业化交易会(2023·合肥)将在合肥滨湖国际会展中心举办,安徽人民足不出皖,就可以买遍全国好农货。

  本届农交会,报名参展参会客商2万多人、参展产品3万多种,展厅总面积约11.5万平方米,如此大的面积,想要惬意“逛吃”,快查收这份指南。

  今年合肥农交会展区内设置了科技强农馆、机械强农馆、美丽乡村馆等展厅。展厅充分运用高科技手段将农业、科技与地方特色深度融合,营造沉浸式氛围。

  其中,安徽农业农村发展成就展厅,安排在登录大厅与主展馆之间。展示党的十八大以来安徽农业农村发展取得的成就。

  安徽省16个地市展厅,安排在主展馆。16个地市划分为16单元,按各市农产品加工产值情况,结合各市产业特点进行安排,展示各地名特优农产品。

  预制菜展馆,安排在综合(2号)馆。通过市场化运作方式,展示展销全国预制菜最新成果。

  农业机械馆,安排在3号馆、4号馆。展示各类农业生产机械。

  金融展区、特色农产品展示直播专区,安排在4号馆。展示金融创新产品、开展对接活动;邀请网络达人,在场馆设置特色农产品展示和直播专区。

  科技创新馆,安排在5号馆。展示和宣传推介省各产业技术体系最新成果。

  和美乡村馆,安排在6号馆。16个市分别展示乡村休闲旅游与农耕文化、美丽乡村建设成果。

  新农人馆,安排在7号馆。包含合作社和家庭农场展区、农业农村领域能工巧匠暨创新创业展区,以及数字乡村、智慧农业展区。

  省外馆,安排在8号馆。包含国家级重点龙头企业展区、台湾展区、境外展区、农垦展区、团省委展区、食用菌展区、天邦集团展区等。

  农业生产资料馆,安排在9号馆。展示推介种子、化肥、农药等农业生产资料等,本展区汇集了全球农药企业销售额前十名中的先正达、拜耳、富美实、科迪华,以及久易农业、众邦生物、华星化工、星宇化学、丰乐农化、辉隆集团银山药业、蓝田农业等近百家优秀农资企业。

  合肥农交会展览展示板块将从10月13日下午2点后正式对外开放。前来参观的观众请按图示10号、1号、3号、5号、6号五个出入口进入,并持入场二维码配合检录、安检处工作人员检录后入场。

  需要提醒逛展市民的是,在畅快“买买买”的同时,一定要提防各类“展虫”。什么是“展虫”呢?没有正规资质,利用展会时间短、现场人员混杂等特点,长期在各大展会期间向消费者兜售产品的群体,行业称之为“展虫”。他们兜售的大都为假冒伪劣产品。

  “展虫”利用展会的影响力、展期人群集中、会后人去场空等特点,以突击销售为目标,混入展区内大肆销售商品,扰乱会场秩序、既损害了场馆及展会的形象,也严重侵害了广大消费者的权益。

  如果您看到挂羊头卖狗肉,兜售的商品与所在展区主题不符,那就是“展虫”,例如茶叶展位卖零食、洗衣液等产品。

  还有些“展虫”是打游击战的“售卖高手”,要是在展馆内非展示区,如走道、公共休息区等,看到拉着行李箱、小拖车兜售商品的人,您可能就是遇到“展虫”了。还有一些“展虫”商品数量较多,超出了作为样品的用途,如果您看到展位上的样品堆积如山,那就是“展虫”把商品都作所谓的样品处理了。

  “展虫”很多时候会在展会最后一天展商撤展时出没,占据空展位售卖,没有空展位也会用后备箱售卖。常见“展虫”销售的产品包括纺织品、服装、鞋帽、皮带、箱包小家电、食品和所谓“珠宝首饰”等。请自觉抵制“展虫”,维护良好的展会营商环境,打造安全舒心的逛展氛围。(记者 彭旖旎)

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2023合肥农交会来了!

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《凯蒂猫岛屿冒险》DLC城市小镇4月16日上线!新增访客和区域

《城市小镇》是一座充满谜团的彩虹大都会。玩家将与酷洛米、我的甜心钢琴和美乐蒂家族的好朋友帕姆熊等三丽鸥伙伴们一起开设全新店铺,同时新朋友乌萨哈娜还将解锁可自由定制的“想象咖啡馆”。与朋友们一同为这座城市注入活力,让想象力尽情驰骋。

《凯蒂猫岛屿冒险》DLC城市小镇4月16日上线!新增访客和区域

新挚友登场 – 开朗又充满活力的乌萨哈娜,迫不及待地想带大家参观城市小镇、结交新朋友,并帮忙翻新属于你的咖啡馆。与她提升好感度至35级,即可解锁丰厚的奖励与福利。

《凯蒂猫岛屿冒险》DLC城市小镇4月16日上线!新增访客和区域

活力新城区 – 踏入城市小镇,在这座生机勃勃的新区域中,探索高耸的天际线、可爱的生物以及诱人的美食。超过30小时的冒险旅程与90多个任务,无论是地上还是地下,都有无数秘密等待发现!

《凯蒂猫岛屿冒险》DLC城市小镇4月16日上线!新增访客和区域

想象咖啡馆 – 设计并定制专属于你的想象咖啡馆!随心组合制作无限种类的可爱点心,如麻糬、团子和波霸奶茶,让三丽鸥伙伴们心满意足。

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七家新店铺 – 协助三丽鸥伙伴们发展城市小镇,开设毛绒玩偶精品店、繁花果园和充满趣味的游戏厅等全新场所。

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新访客登场 – 留意乌萨哈娜的可爱伙伴们:潘喵酱、布比君、汪酱、空君和喵子酱。在彩虹塔内为他们准备舒适的公寓,热情迎接他们的到来!

《凯蒂猫岛屿冒险》DLC城市小镇4月16日上线!新增访客和区域

以及……敬请期待一位神秘客人的惊喜亮相!

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《凯蒂猫岛屿冒险》DLC城市小镇4月16日上线!新增访客和区域

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  近日,农业农村部网站发布2022年全国乡村特色产业超十亿元镇超亿元村名单公示,安徽共23地上榜,其中,合肥市长丰县水湖镇(草莓)等8个镇入选全国乡村特色产业超十亿元镇,合肥市巢湖市中垾镇小联圩村(番茄)等15个村(社区)入选全国乡村特色产业超亿元村。

  2022年全国乡村特色产业超十亿元镇
  超亿元村名单公示

  根据《全国“一村一品”示范村镇认定监测管理办法(试行)》规定,农业农村部对已认定的全国“一村一品”示范村镇运行情况进行定期监测。监测数据经专家审核,初步确定全国乡村特色产业超十亿元镇超亿元村505个。现将名单予以公示,公示时间为11月1日至7日。如有异议,请在公示期内实名向农业农村部反映。反映情况要实事求是,并提供证明材料。

  联系电话:010-59192724/2721

  电子邮箱:cystscyc@agri.gov.cn

  附件:2022年全国乡村特色产业超十亿元镇超亿元村名单.doc


  农业农村部

  2022年11月1日

  安徽入选2022年全国乡村特色产业超十亿元镇公示名单

  安徽省合肥市长丰县水湖镇(草莓)

  安徽省合肥市巢湖市槐林镇(渔网)

  安徽省芜湖市南陵县许镇镇(鳙鱼)

  安徽省阜阳市太和县李兴镇(桔梗)

  安徽省阜阳市阜南县黄岗镇(柳编)

  安徽省六安市裕安区独山镇(茶叶)

  安徽省六安市霍山县太平畈乡(石斛)

  安徽省宿州市泗县大路口乡(山芋)

  安徽入选2022年全国乡村特色产业超亿元村公示名单

  安徽省合肥市巢湖市中垾镇小联圩村(番茄)

  安徽省芜湖市湾沚区六郎镇北陶村(休闲旅游)

  安徽省芜湖市无为市红庙镇海云村(牡丹)

  安徽省马鞍山市含山县环峰镇祁门村(芝麻油)

  安徽省淮北市烈山区宋疃镇和村社区(苹果)

  安徽省淮北市烈山区烈山镇榴园社区(石榴)

  安徽省滁州市来安县舜山镇林桥村(林壳蜀桧)

  安徽省滁州市全椒县二郎口镇曹埠村(龙虾)

  安徽省滁州市定远县西卅店镇高潮村(双孢菇)

  安徽省阜阳市阜南县郜台乡刘店村(柳编)

  安徽省阜阳市颍上县耿棚镇耿棚社区(桑蚕)

  安徽省宿州市埇桥区西二铺乡沟西村(西瓜)

  安徽省宿州市埇桥区西二铺乡沈家村(蔬菜)

  安徽省宿州市埇桥区西寺坡镇谷家村(蔬菜)

  安徽省宣城市宁国市南极乡梅村(山核桃)



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安徽有23地上榜乡村特色产业超十亿元镇、超亿元村

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在经济波动、楼市降温、股市不景气的背景下,艺术品收藏以其稳定增值的潜力、独特的格调成为了许多投资者的新宠。

而不了解艺术品收藏的人,可能会错过这一投资领域,成为所谓的“隐形贫困人口”。

艺术品收藏的火热趋势不仅反映了市场的热度,更揭示了一种文化和财富增长的共鸣。

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那么,为什么艺术品会成为如此受欢迎的投资领域呢?

回顾过去20年中国经济发展的轨迹,我们可以看到,在经济低迷时期,艺术品市场往往逆势增长,成为避险资金的归宿。

从1997年亚洲金融危机到2008年的国际金融危机,再到2015至2016年的经济形势,艺术品市场都显示出了强大的抗跌性和真实价值。

随着艺术品拍卖市场的爆炸式增长,中国在全球艺术品市场中的地位也迅速上升。

根据巴克利银行的数据,机构投资者和高端人士倾向于将约5%的资产投资于艺术品。

以中国巨大的财富基数来看,这一市场潜力是巨大的。

从投资回报来看,艺术品投资的收益远超同期证券市场指数和全球艺术品指数。

以“当代书画50指数”为例,自2000年至今增长了近25倍,年复合收益率超过20%。

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那么,艺术品与金融的结合趋势为何如此明显?

专家们认为,这一方面是因为相较于传统的投资领域,艺术品更加安全,是避险的工具;

另一方面,随着中国财富的增长,艺术品经济在中国已经形成。

对于普通民众而言,想要步入艺术品投资领域也并非易事。


正确把握市场脉络,分清自身的收藏等级,才能在艺术品市场中立于不败之地。

艺术品投资不仅仅是财富的追求,更是一种文化品位的提升。

从入门级的慎重选择到专家级的深度投资,每一步都需要对艺术的深刻理解和敬畏。

对于入门级的藏友,他们的收藏之旅才刚刚开始。

选择价格适中、具有一定潜力的艺术品,可以让他们在收藏的过程中慢慢提升自己的鉴赏能力和市场洞察力。

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对于“专家级”收藏者来说,他们的收藏动机超越了单纯的财富增值,更多地是出于对艺术的热爱和欣赏。

这种深层次的投资理念体现了艺术品收藏与众不同的价值所在——它不仅是一种财富的投资,更是对文化遗产的保护和传承。

而“专家级”收藏者则更注重提升个人的艺术品位,通过收藏艺术品来陶冶情操和提高生活品味。

他们在投资的同时,也在支持和促进艺术文化的发展。

 

对于高手级收藏者而言,艺术品收藏是一种精致生活的体现。

他们在欣赏艺术品的同时,也享受着其带来的财富增值。

这一层次的收藏者通常具备较高的鉴别能力,能够在众多艺术品中挑选出真正具有投资价值和艺术价值的作品。

随着中国艺术市场的迅猛发展,金融机构对艺术品的投资越来越感兴趣。

艺术品的经济属性和金融属性被越来越多的人认识到,不仅仅是高端客户,越来越多的普通人也开始涉足这一领域。

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在这个多元化的时代,在当前的经济格局下,艺术品收藏已经成为了一种资产配置的重要形式。

首先,艺术品市场的“套利机会”(Arbitrage Opportunity)非常独特。

就像股市有其波动性,艺术品市场也有自己的周期和趋势。

艺术品的价值往往随着本身的珍稀程度、历史地位或者市场需求的变化而波动,这为有眼光的收藏家提供了投资和增值的机会。

再来看“流动性溢价”(Liquidity Premium)问题。

相比于股票和债券,艺术品的流动性较低,这就意味着它们在市场上的稀缺性更高,从而在某种程度上提升了其潜在的价值。

这种不易获得的特质使得艺术品在长期投资中显示出其独特的价值。

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在“风险分散”(Risk Diversification)方面,艺术品投资可以作为投资组合中的一部分,帮助分散市场风险。

尤其在传统投资市场波动大时,艺术品往往能够保持稳定甚至升值,因此成为许多投资者的避风港。

艺术品投资需要深厚的艺术知识、市场敏感度以及审美判断力,这些都是普通投资市场所不具备的。


最后,我们不得不提的是“遗产价值”(Heritage Value)。

艺术品作为一种可以传承的资产,其价值远大于金钱。

艺术品的收藏和传承,不仅能够为后代留下财富,更是留下了文化和历史的财富。

更重要的是,家族积累了大量的文化财富,这是任何其他形式的财富都无法比拟的。

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总的来说,艺术品收藏不仅涉及到财经领域的深层次理解,其收藏的价值远远超越了它的物质价值,它已成为一种文化财富的象征。

古玩艺术品,成为了一种最大的隐形财富,也成为了衡量一个人文化财富和生活质量的重要标准。

不懂收藏的人,会被形象地称为“隐形贫困”人口。


声明:

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不懂收藏的人,被称为“隐形贫困”人口! 收藏资讯

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若卡塔尔这一全球第二大LNG出口国的供应中断持续,亚洲将首当其冲——其80%的LNG出口流向亚洲。印度、韩国、日本和中国台湾对中东LNG资源依赖程度较高,其中日本、韩国和中国台湾的天然气发电量占总发电量的30%–40%。若冲突短期内无法平息,煤电作为可快速上量的替代电源,将显著增加对煤炭的需求,以弥补潜在电力缺口。

3月2日,洲际交易所(ICE)纽卡斯尔动力煤4月合约上涨8.61%,3日再次上涨7.23%,收于138美元/吨,为2024年12月以来最高值,上涨预期明显增强。

尽管如此,市场中有声音认为本轮上涨难以复刻2022年俄乌冲突期间的行情。与2022年相比,当前亚洲两大煤炭进口国——中国和印度——均已建立起更强的国内供应缓冲。中国年煤炭产量稳定在48亿吨以上,具备灵活调控产能与进口节奏的能力;印度亦持续推进Coal India及其他矿企增产,长期目标是降低对外依存。加之欧洲煤电已结构性萎缩,市场情绪高涨与谨慎并存,而非恐慌。3月4日,纽卡斯尔动力煤期货价格已有回落迹象。

二、国内市场抗冲击能力强,前期上涨动能有所衰减

尽管国际煤价大幅上行,中国煤炭市场表现出较强独立性,对中东冲突事件的反应较为平稳。春节前后,受多重因素影响,港口和坑口煤价曾经历一波明显上涨:

印尼煤产量和出口量缩减预期;

北方港口库存明显低于往年同期;

主产地煤矿的生产尚待恢复恢复;

终端日耗有回升空间。

然而,进入本周,市场情绪明显降温,上涨趋势趋于停滞。

(1)主产地正常复产,港口调入量回升

主产地已有序复产,港口日调入量回升至200万吨高位;大秦铁路输送量本周首次回到120万吨/天的满发水平。北方港口库存连续多日回升,总量重回2500万吨以上。

(2)终端库存处于高位,淡季临近抑制采购意愿

根据CCTD高频监测数据,截至3月2日,沿海八省动力煤终端用户库存较去年同期偏高约7%,内陆十七省偏高约8%。尽管3月工业企业复工将带动日耗回升,但气温逐步升高,4–5月将进入传统电煤淡季,电厂对当前高位煤价接受度不高,需求低迷。

(3)贸易商集中出货,价格开始松动

随着前期煤价涨幅扩大,越来越多贸易商选择在淡季前出货兑现利润,市场报价出现松动。主产地方面,本周起主产地下调价格的煤矿数量有所增多。

综合来看,港口库存回升、煤价已实现可观涨幅、电厂库存充裕、季节性需求转弱等因素已主导国内煤价走势。CCTD环渤海动力煤现货参考价连续两日持平,上行趋势告一段落。

三、煤化工或成结构性支撑点

虽然国内发电领域受中东能源扰动影响有限,但煤化工板块可能获得外部支撑。据海关数据,2025年我国自中东地区进口甲醇约980万吨,占国内甲醇贸易量超过30%。

若伊朗气头化工品出口因冲突持续受限,或将推高中国华东地区甲醇价格,并进一步加剧2026年上半年北半球春耕期间的国际尿素供应缺口,间接提振国内煤化工用煤需求。根据CCTD监测数据,中国化工行业耗煤量保持明显增长,在截至2月27日的当周内,样本化工企业耗煤量同比增加12%,为同期历史最高。

四、结论

尽管目前处于传统需求淡季前夕,但主要动力煤品种价格已明显高于去年同期水平。

截至2026年3月4日,CCTD环渤海动力煤现货参考价显示,4500大卡、5000大卡和5500大卡动力煤现货价格分别为585元/吨、675元/吨和753元/吨,同比分别上涨11%、12%和8%。

与此同时,北方港口库存虽近期连续回升,但总量仍明显低于去年同期,供需局面由去年同期的明显供过于求转为略偏宽松,叠加当前国际煤炭价格因中东地缘冲突而获得强劲支撑,进口煤补充作用减弱,4–5月电煤传统淡季,市场表现仍有望好于去年同期,煤炭价格回调幅度预计有限。



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国际能源新变局,煤市淡季调整有限

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在健康与口感兼具成为饮品消费主流的今天,传统汽水赛道亟待升级。冰乐动果汁汽水精准切入这一市场空档,以“真果汁+轻甜蜂蜜+东方美学”为核心差异,打造出一款适配全场景、动销无压力的健康汽水,为经销商提供清晰可持续的增长方案。

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一、产品硬实力:真材实料,定义健康轻甜新标准

面对“控糖不减甜”的消费趋势,冰乐动跳出传统蔗糖依赖,选用天然蜂蜜进行黄金比例调味,实现口感清甜不腻、负担更轻。产品融合真实蓝莓、蜜桃、柠檬等果汁风味,气泡感十足,既满足解渴畅爽,亦贴合佐餐、聚会、户外等多类消费场景,在健康与美味之间取得完美平衡。

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二、视觉与场景:高颜值设计,自然切入全域流量

冰乐动500ml包装融合简约线条与东方美学,在货架上视觉辨识度极高,能有效吸引年轻客群并提升终端拿取率。产品设计之初即充分考虑全场景适配性,从便利店、商超到餐饮、校园、休闲场所,均可无缝融入,实现“产品即流量入口”,降低经销商推广阻力。

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三、渠道与支持:成熟体系赋能,助力经销商轻装上阵

冰乐动已成功布局餐饮、商超、校园、流通等多重渠道,拥有成熟的动销模型与渠道经验。经销商可快速承接现有资源,获得包括终端陈列指导、季节性活动策划、稳定供应链与有竞争力的利润空间在内的全方.位支持,实现低风险、高效率的市场启动与销量增长。

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当前健康汽水赛道正值增长窗口期,冰乐动以清晰的产品定位与完整的支持体系,诚邀各地经销商携手合作。我们提供完善的区域保护政策、灵活的产品组合、持续的动销赋能与品牌营销支持,共同把握健康饮品升级趋势,实现可持续的市场回报与品牌成长。

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真果汁+轻甜蜂蜜,冰乐动用“健康汽水”重构品类,激活全渠道增长!

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什么是虚拟电厂?

虚拟电厂不是实体建筑,而是一个智能能源管理系统。它通过数字化手段,把分散的风电、光伏、储能设备、工厂用电设备等连接起来,像指挥交响乐团一样协调这些能源的供需。在用电高峰时,它能调动企业闲置的电力资源参与电网调节,既缓解了电网压力,又让企业获得额外收益。

企业能获得哪些好处?

对于绍兴的高耗能企业来说,这个项目就像装上了"绿色提款机":首先,企业可以通过参与电网需求响应获得补贴,部分企业年收益可达百万级别;其次,项目将帮助企业开展绿电交易,降低碳排放成本,提升产品在国际市场的竞争力;最后,通过智能化的能源管理,企业还能降低整体用电成本,实现"省钱又赚钱"的双赢。

为什么选择在绍兴落地?

绍兴柯桥区作为工业重镇,聚集了大量纺织、印染等高耗能企业,能源转型需求迫切。项目将以杭绍临空示范区为起点,逐步覆盖柯桥全区,最终向全省推广。这种"试点-推广"的模式,既保证了项目的可行性,又能快速形成规模效应。

未来规划:三步走战略

项目制定了清晰的发展路线:2026年完成示范区核心企业接入;2027年覆盖柯桥区重点工业集群;2030年前向全省推广。这种循序渐进的方式,既保证了项目质量,又能让更多企业尽快受益。

临空新奥虚拟电厂项目的落地,标志着绍兴在智慧能源领域迈出了重要一步。对于企业来说,这不仅是节能减排的良机,更是转型升级的契机。在"双碳"目标的大背景下,谁能率先拥抱这种创新模式,谁就能在未来的市场竞争中占据先机。



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未来已来!临空新奥虚拟电厂开工建设,打造智慧能源新标杆

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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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